工業霸主1980

第409章 三大核心:光源,物鏡,工件臺

紅色的保密電話被輕輕放回原位,發出一聲沉悶的輕響。

辦公室內,秦奮看著桌上那個普通的牛皮紙信封,陷入了沉思。

幾分鐘前,他與工業部的陳部長通了話。電話那頭的聲音一如既往的沉穩,但在聽到秦奮說有份東西需要他“親眼看一看”時,那沉穩中還是透出了一絲不易察覺的凝重。

這份報告送上去,必然會掀起一場風暴。

但秦奮知道,這還不夠。

“103,457”這個數字,像一座大山,足以壓垮任何樂觀的情緒。供應商佔比圖,像一記耳光,足以打醒所有心存幻想的人。

可然後呢?

然後就是茫然和無措。面對這樣一座由十萬個零件構成的工業巨峰,從哪裡開始攀登?面對這張密不透風的封鎖網,從何處尋找突破口?

僅僅展示困難的廣度,無法凝聚力量。他必須指出困難的核心,為即將到得的“舉國之力”標定出最關鍵的攻擊方向。

他不能只遞給國家一個問題,他必須把問題的核心剖析出來。

秦奮起身,再次走進了那間絕對私密的指揮中心。

厚重的門隔絕了外界的一切。他重新坐下,意識再次沉入系統。

那個由十萬多個光點組成的龐大零件雲團依舊懸浮在空中,散發著冰冷的科技光芒。

“系統。”秦奮的意念無比清晰,“在這103,457個零件中,按照技術權重、製造難度以及供應鏈壟斷程度,標出排名最高的三個核心模組。”

【指令確認。】

【正在進行技術權重分析……】

【正在進行供應鏈溯源分析……】

【分析完成。】

話音落下的瞬間,懸浮在空中的十萬光點大部分都黯淡了下去,化作模糊的背景。

只有三個區域,猛然亮起了刺目的紅色警示光芒。

它們像是三顆跳動的心臟,在這臺工業巨獸的體內,散發著不容置疑的權威。

系統冰冷的標註,在第一個紅色光團旁浮現。

【核心一:EUV光源系統】

秦奮的意念集中過去,那個光團瞬間被放大,內部複雜的結構清晰地呈現在他眼前。

那是一個由鐳射器、光路系統、液滴發生器以及等離子體收集腔組成的精密集合體。

系統的文字標註一行行展開:

【系統描述:能量的心臟。將不可見的極紫外光注入機器的源頭。】

【核心技術1:CO2鐳射器。需要產生功率超過兩萬瓦的超強紅外鐳射脈衝,其穩定性與能量轉化效率是系統成敗的關鍵。】

【核心技術2:液滴靶系統。發生器需要以每秒五萬次的驚人頻率,精準噴射出直徑僅有20微米的融化錫滴,並且保證每一個錫滴都準確無誤地落在鐳射焦點上,被轟擊成等離子態,從而輻射出13.5奈米波長的EUV光。】

【技術綜合難度評級:SSS級。】

【全球唯一成熟供應商:Cymer(米國)。】

Cymer,米國。

這個名字秦奮再熟悉不過。這家公司早在幾十年前就被阿斯麥全資收購,成為了其牢牢掌控在手中的獨家王牌。米國的技術,荷國的資本,共同鑄就了這第一道,也是最堅固的壁壘。

秦奮的目光沒有停留太久,他看向第二個高亮顯示的模組。

這是一個更加龐大、由十幾塊形狀各異的曲面鏡片構成的複雜光學組合體,它佔據了光刻機最核心的位置。

【核心二:衍射極限物鏡系統】

【系統描述:機器的眼睛。負責將EUV光源產生的光線收集、整形並最終聚焦到矽片上,其精度決定了晶片的線寬。】

【核心技術1:非球面反射鏡。整個系統由十幾塊非球面反射鏡組成,每一塊鏡片的表面粗糙度必須小於0.1奈米。這個概念相當於,如果將鏡片放大到整個德意志的國土面積,其地表最高點和最低點的差距,不能超過一毫米。】

【核心技術2:多層膜。由於沒有任何材料能有效折射EUV光,必須使用反射鏡。而為了高效反射13.5奈米的光,每塊鏡片的表面都需要鍍上超過四十對鉬矽(Mo/Si)交替的薄膜,每一層薄膜的厚度誤差不能超過一個原子直徑。】

【技術綜合難度評級:SSS級。】

【全球唯一成熟供應商:蔡司(德意志)。】

蔡司,德意志。

又是一個如雷貫耳的名字。這家百年光學巨人,憑藉其在精密光學領域無可撼動的地位,成為了EUV光刻機“眼睛”的獨家鑄造者。

如果說光源是第一座無法逾越的高山,那麼這套物鏡系統,就是第二座。而且這兩座山,一座在美國,一座在德國,它們共同構成了封鎖線的前兩道鐵閘。

秦奮的表情沒有變化,視線移向了最後一個,也是結構上看起來最“簡單”的模組。

那是位於整個系統底部的兩個平臺,看起來就像兩個可以高速移動的托盤。

【核心三:超精密雙工件臺】

【系統描述:運動的靈魂。在一次曝光進行的同時,對下一片晶圓進行預對準和測量,實現無縫銜接,是光刻機產能的核心。】

【核心技術1:超高速與高加(減)速度。工件臺需要在真空環境下,以超過10G的加速度(相當於戰鬥機飛行員承受的極限重力加速度)進行啟動和停止,最高運動速度超越高鐵,從而最大化掃描效率。】

【核心技術2:奈米級同步定位。在進行如此劇烈運動的同時,兩個工件臺之間的相對位置,以及工件臺與上方靜止的物鏡系統之間的位置,必須透過複雜的鐳射干涉儀進行實時測量和校正,最終定位精度需要達到奈米級別。這相當於兩架超音速飛行的戰鬥機,在空中進行誤差不超過一根頭髮絲直徑的空中加油。】

【技術綜合難度評級:SSS級。】

【專利源頭:飛利浦(荷國)。】

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