巨大的新風管道呼呼作響，將絕對清潔的空氣送進廠房之內。
一名身穿全身無塵服的研究員指著那臺跟沒有窗戶的鐵房子似的裝置，給同樣身穿無塵服的方豫做著講解。
透過無塵服的透明面罩，能看到張博士的那張圓臉。
“周微電子的icp-rie等離子蝕刻機上週剛剛到貨，現在正在裝配，compact-300薄膜沉積系統大概還要一週左右。”
張博士的頭圓臉也圓，但不是胖，就是圓，看上去年紀並不大，眼袋卻非常嚴重，明顯是長期沒睡好。
“這邊主要是前道工藝的區域，要求的潔淨度非常高，蝕刻機、圓晶aoi和探針臺都在這個區域，潔淨度低於class10。”
張博士帶著二人，一邊走，一邊指著通道兩側的裝置介紹道。
寧雨好奇的扭頭看了看，光刻機？蝕刻機？那是什麼？
沒看到什麼機器啊，只看到一排排灰色鐵房子一樣的東西。
“orbotech自動光學檢測機基本已經除錯完畢了。”
“這批貨算是撿了個便宜，orbotech應該正在談被收購，全力做高營收，拉高估值，錢到位，什麼都敢賣。”
張博士嘿了一聲，語氣中頗為不屑。
“百分之六十的生產裝置現在都可以做到國產化替代，但關鍵裝置都沒辦法國產。”
“不只是duv和euv光刻機，包括cmp化學機械拋光、晶圓封裝、mems封裝/感測器對準、mtf測量……全都只能高價買二手。”
說著，穿過兩排裝置區，前方又出現一道帶有紅色隔離標識的門。
張博士摘下掛在胸前的工牌對著感應器一刷，又在虹膜識別器前稍一俯身。
“許可權已確認。”人工語音響起，門發出了“噗嗤”一聲，自動開啟。
看到門內是一條長長的甬道，四壁和頂部全是各種噴口的孔洞，寧雨就忍不住有點緊張。
剛剛不是噴過一次了嗎？還要噴啊？
進入前道工藝車間前，張博士就帶著穿好無塵服的二人進行了一次風淋，當時風淋間內巨大的氣流聲甚至讓寧雨有種窒息的感覺。
明明穿著無塵服，呼吸也不受影響，但感受到超強的氣流將無塵服吹的獵獵作響，還是讓寧雨感覺有些緊張。
“duv要求的潔淨度更高，所以必須進行二次風淋。”
張博士稍稍解釋了一句，隨後鎖緊內門，四壁噴嘴立刻擺動著噴出高速離子風，呼嘯著沖刷三人的無塵服，帶走可能殘留的微塵。
所不同的是，這次的氣流聲音更大，比剛剛進入前道工藝車間時更加猛烈，時間也更長，足足噴了半分多鐘。
寧雨可能有點幽閉恐懼，下意識的伸手捏住了方豫的無塵服。
方豫側頭看了她一眼，突然伸手在她後背安慰似的拍了拍。
寧雨不由得身體一震，下意識的看向被無塵服包裹得嚴嚴實實的方豫。
透過雙層面罩，寧雨似乎看到同樣被包裹得嚴嚴實實的方豫對自己笑了一下。
寧雨身體一震，一股異樣的情緒從心底滋生出來。
這種情緒非常特別，癢癢的，怪怪的，像是有一隻小貓在心中抓啊抓的，還時不時伸出爪尖，輕輕勾一下，又迅速縮回去。
那隻小貓很調皮，偏偏不讓她抓到，只留下一陣一陣的酥麻和暖意，在心口、在喉嚨口、在耳尖蔓延開來。
她感到自己的呼吸在雙層面罩變得輕微而又急促，像是怕驚走了什麼易碎的東西。
她想抬手去按一按胸口，卻怕被他看出來；想移開視線，又像被那雙隔著面罩的眼睛黏住了，怎麼也挪不開。
這還是她人生第一次有這樣的感覺。
哪怕之前被迫體會柳菲菲和方豫相杵的感受時，都未曾有過。
“嘟~~~”
四周的噴嘴突然停止了噴淋，巨大的風噪瞬間停歇，風淋間內響起了嘟嘟聲，內側門頭上的指示燈也從紅色轉為了綠色。
“嗤~”
風淋間的內門自動開啟。
寧雨的手“嗖”的從方豫的無塵服上收了回來，臉騰一下就紅了。
他沒發現吧？沒發現吧？
無塵服裹得這麼嚴實，什麼都看不到，應該沒發現。
寧雨口中撥出的溼氣，在面罩上凝結出一層薄霧，但又迅速被無塵服面罩頂部的自動送風系統抽走了。
“方總，兩位，這裡就是曝光間，也就是現在人常說的光刻間。”
張博士推開門，柳菲菲不由自主的眯了眯眼睛。
這裡的亮度比剛剛的前道工藝區低了不少，照明的顏色也從明亮的白光變成了昏暗的黃色光源。
仔細看一下，好像四壁和天花也都是黃色的啞光漆面，像是用黃色隔絕了整個世界的色彩。
光刻間內佔地足足四五十平米的金屬房子也同樣是黃色的，而四周的牆角和金屬房子的底座則是純黑色的啞光金屬板。
在黃色金屬房子的頂部，有一根塔狀led燈柱亮著紅燈，同時塔柱上黃色的燈帶也在間歇式的閃爍著。
“光刻膠對藍光敏感，為了避免意外曝光，這裡的照明必須採用黃鈉燈。”
張博士解釋了一句，看著面前兩臺亮著紅燈的巨型裝置嘆了口氣。
“這條1400f的duv線，是從intel搞到的二手裝置，製程理論上只能到40奈米，實際大概只能到60奈米。”
“而且雙工件臺和krf光源系統也有問題，邁國人簡直就是喪心病狂，兩條殘廢的產線居然還敢賣這麼貴！”
“我們準備先自己研究一下能不能修好，修不好的話，可能需要換件，還得找特殊渠道讓阿斯麥的工程師私下來看看。”
張博士義憤填膺，提到邁國人的時候，五官都皺到了一起，眉毛倒豎，咬牙切齒，顯然深惡痛絕。
寧雨好奇之餘，也有點尷尬，慶幸還好自己進來時帶了口罩，後來又穿上了無塵服，沒讓張博士認出來。
她國籍也是邁國。
這人怎麼這麼恨邁國？
寧雨有點奇怪。
她知道大周國內很多人會對邁國幸災樂禍，但恨得這麼咬牙切齒跟恨小倭子似的，可太少見了。
這人是幹什麼的？說的什麼我都沒聽懂……
方豫聞言，讓張博士指了一下這兩臺duv損壞的位置，看似好奇的摸了摸。
張博士想說這兩臺裝置太精密，不能隨意觸碰，但剛張開嘴，才想到這特麼是老闆。
東西都是人家買的，想摸就摸吧。
好在方豫沒摸多久，就鬆開了手。
“我覺著這東西不是壞的啊，看起來挺正常的，再檢測試試。”
就算張博士穿著無塵服，透過面罩都能看到腦門上青筋直冒。
你覺著？
這玩意兒壞了就是壞了，沒壞就是沒壞，你覺著有個屁用？
我還覺著柳菲菲應該對我一往情深呢，我覺著有用嗎？
看不到故障燈在那亮著嗎？
要不是看在你救了我的份上，我、我特麼跳起來打你膝蓋！
“方總，duv重啟一次，至少要十幾個小時，花費幾十萬的費用，我們可以確信……”
張博士絞盡腦汁乾巴巴的勸說道。
張博士說的也不完全是託詞，阿斯麥的duv每次冷啟動都要完全置換氣體，含有氖、氬、氟的準分子鐳射光源氣體混合物很貴，至少要大幾千邁元。
而且，duv的鐳射腔壽命以脈衝數計數，每開關機一次，都會造成壽命的降低。
最重要的是，光刻機這東西也有點玄學，有可能關機前只是雙工件臺和光源系統有問題，重新開機後，不知道哪裡又會蹦出新的問題。
“無非就是一點稀有氣體的損失，問題不大。而且不需要冷啟動，只需要在 hmi做模組復位，跑受影響子系統的qualification，二三十分鐘就能結束，不會有什麼大損失。”
方豫伸手敲了敲面前這臺duv的黃色外殼。
聽了方豫的話，張博士不由得目瞪口呆。
你懂光刻機？
既然懂，怎麼還說什麼“我覺得”？
“這……這……可是……”
張博士一腦子漿糊，吭哧半天，也不知道該說什麼好。
“重新自檢，看看故障能不能排除，不能排除，我們再想辦法。”方豫抱著雙臂，語氣輕鬆，卻充滿著不可置疑的味道。
“……那好吧。”張博士被迫妥協，叫來兩個技術員打下手。
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